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针对大型测试对象的快速抽空和较短的响应时间,普发真空的移动型高性能检漏仪进行了优化。
ASM 390 和 ASM 392 是完美的泄漏检测解决方案,可用于半导体和平板显示器行业以及其他要求极高的应用,这些应用需要快速的抽空时间和高灵敏度。 两种设备都完全符合 Semi S2 标准。
这些检漏仪都配有干式非接触式前级真空泵和强大的高真空涡轮分子泵,从而使其成为清洁环境下各种组件泄漏测试的理想工具。ASM 392 装有一台额外的涡轮分子泵,可以加速泄漏检测流程,降低生产设备的停机时间。
符合人机工学且操纵灵敏
ASM 390 和 ASM 392 具有同样的平台,人机工学设计独特,尺寸和高度合适,前部有手持扶手,显示器可自由旋转、可拆卸,前部入口易于连接测试端口,可操作性无与伦比,可用于各种测试场地,即使狭小的空间也应对自如。
精巧智能且用户友好
通过色彩清晰的宽屏触摸屏、带模块化集成工具箱和真空波纹管存储箱,在使用地点所有需要的附件无不齐备,您会赞叹泄漏检测是多么轻松。
ASM 392
ASM 392 具有无与伦比的灵敏度和精确度。ASM 392 与 ASM 390 共享相同的平台,并配备新增的涡轮泵,它将缩短您的泄漏检测时间,同时不会在尺寸和可操作性方面有任何妥协。
20 hPa 交叉泄压,可以快速进入测量模式,还可用于测量大泄漏的大量模式
具有360度全方位视角,分辨率极高的彩色触摸屏
直观的菜单与密码保护,可防止意外使用
通过外部装置(PC 或 PLC)配备自动化用接口板
具备配备无摩擦和无机油式 ACP 泵的 35 m3/h (21 cfm) 初步处理能力
25 l/s 的氦气抽速,可缩短测试时间
分类 | I/O 接口 | 2639-Exhaust connector | 订单号 |
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ASM 392 | RS-232 | ESGB02G0MM9A | |
ASM 392 | RS-232 | DN 25 ISO-KF | ESGB02G0MM9B |
ASM 392 | RS-232 | DN 40 ISO-KF | ESGB02G0MM9C |
ASM 392 | RS-232、USB | ESGB02G2MM9A | |
ASM 392 | RS-232、USB | DN 25 ISO-KF | ESGB02G2MM9B |
ASM 392 | RS-232、USB | DN 40 ISO-KF | ESGB02G2MM9C |
ASM 392 | RS-232; USB;以太网 | ESGB02G4MM9A | |
ASM 392 | RS-232; USB;以太网 | DN 25 ISO-KF | ESGB02G4MM9B |
ASM 392 | RS-232; USB;以太网 | DN 40 ISO-KF | ESGB02G4MM9C |
ASM 392,通用电压
紧凑的设计,极易操控
大型彩色触摸屏,无需任何工具即可完全旋转和拆卸
用于存放配件的集成工具箱
具有高前级能力 (35 m3/h) 的干式清洁泵
特殊的泵结构,具有高氦气抽速和极快的响应时间
技术参数2515-Start-up time (20°C) | 2 分 |
E/A 接口 | 基本 15 针 I/O |
He 的抽速 | 25 l/s |
I/O 接口 | RS-232 |
供应 | 100 – 240 V,50/60 Hz |
前级泵 | 带有无油前级泵 |
可检测的气体 | 4He, 3He, H2 |
噪音水平 | ≤ 55 分贝 (A) |
型号 | 高性能 - 机动灵活 |
声压水平 | ≤55 dB(A) 分贝 (A) |
尺寸(长 x 宽 x 高) | 1072 x 455 x 1025 毫米 |
氦的可检测的较小泄漏率(真空泄漏查找) | 1 · 10-13 Pa m³/s |
氦的可检测的较小泄漏率(通气泄漏查找) | 1 · 10-9 Pa m3/s | 7.5 · 10-9 Torr l/s | 1 · 10-8 mbar l/s |
测试方法 | 真空及嗅探泄漏探测 |
用户界面 | 图形化彩色触摸屏(可取下) |
耗电量 | 800 W |
耗电量 max. | 1600 瓦 |
连接法兰(入口) | DN 40 ISO-KF |
重量 | 130 千克 |
预真空抽速 | 35 m³/h | 20.6 cfm | 583.33 l/min |